據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，專注于研發(fā)和生產(chǎn)車規(guī)級(jí)MEMS掃描微鏡的蘇州希景微機(jī)電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱：希景科技）近日宣布，公司自主開發(fā)的二維MEMS掃描微鏡實(shí)現(xiàn)成功量產(chǎn)。這款二維MEMS掃描微鏡的鏡面直徑為5mm（可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制），具有體積小、驅(qū)動(dòng)功耗低、掃描頻率高、扭轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)角大、生產(chǎn)成本低等特點(diǎn)，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車激光雷達(dá)（LiDAR）等3D掃描應(yīng)用。

圖1 希景科技展示鏡面直徑為5mm的二維MEMS掃描微鏡

在這輪自動(dòng)駕駛發(fā)展熱潮中，激光雷達(dá)普遍被認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)/無人駕駛的核心賦能技術(shù)之一。傳統(tǒng)的三維激光雷達(dá)是在單點(diǎn)測(cè)距的基礎(chǔ)上，通過二維掃描實(shí)現(xiàn)三維空間的深度信息測(cè)量，因此激光束掃描是激光雷達(dá)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的核心環(huán)節(jié)。但傳統(tǒng)的機(jī)械式掃描激光雷達(dá)通常會(huì)有較大的體積、重量和功耗，同時(shí)成本高昂。因此，采用MEMS掃描微鏡的混合固態(tài)激光雷達(dá)，被業(yè)界認(rèn)為是最有望快速走向大規(guī)模量產(chǎn)及應(yīng)用的解決方案。

同時(shí)，希景科技提供MEMS掃描微鏡控制套件，可以滿足廣泛的客戶應(yīng)用需求，極大地縮短客戶的產(chǎn)品開發(fā)時(shí)間。希景科技的二維MEMS掃描鏡的鏡面直徑通常為數(shù)毫米，鏡面采用金反射薄膜，可以滿足大功率紅外激光應(yīng)用的要求。

希景科技在MEMS掃描微鏡上集成了角度傳感器，通過控制電路采集傳感器的反饋信號(hào)以實(shí)現(xiàn)對(duì)MEMS掃描微鏡的閉環(huán)控制。此外，希景科技還能夠根據(jù)客戶需求，提供如單軸諧振型微鏡、單軸準(zhǔn)靜態(tài)微鏡、指向型微鏡等定制化產(chǎn)品及服務(wù)。希景科技開發(fā)的鏡面直徑為5mm的二維MEMS掃描微鏡已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)階段，其主要性能指標(biāo)如下：

表1 希景科技二維MEMS掃描微鏡指標(biāo)參數(shù)

為了加速客戶的產(chǎn)品上市，方便客戶更快地導(dǎo)入MEMS掃描微鏡，希景科技還提供了基于MEMS掃描微鏡的激光脈沖掃描開發(fā)模組。通過這款開發(fā)模組，用戶可以設(shè)定激光脈沖掃描角度、掃描幀率、掃描線數(shù)，以及掃描脈沖的水平分辨率等參數(shù)。